마그네트론 스퍼터링 증착 조건에 따른 $\textrm{SnO}_2$ 박막의 미세구조와 가스검지특성 변화

김종민 ,  문종하 ,  이병택

한국재료학회지

1999 .01

스퍼터링 조건과 열처리온도가 SnO₂ 박막 가스센서의 미세구조와 전기적 성질에 미치는 영향

이진혁 ,  도정만 ,  강계명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

박막형 $SnO_2$ 가스센서의 특성에 미치는 박막미세구조의 영향

김종민 ,  이병택

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

화학 증착법에 의해 제조된 SnO₂ 박막의 미세 조직과 특성

이상창 ,  정상현 ,  김규호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

다공성 나노구조 SnO₂ 가스 검지 특성

한민아 ,  김현종 ,  이호년

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

반응성 DC 마그네트론 스퍼터법에 의한 SnO₂ 박막제조 및 특성

정해원 ,  이천 ,  신재혁 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

반응성 DC 마그네트론 스퍼터법에 의한 SnO₂ : F 박막의 전기광학적 특성

정영호 ,  김영진 ,  신재혁 외 4명

한국표면공학회지

1999 .04

SnO/Sn 혼합 타겟을 이용한 SnO 박막 제조 및 특성

김철 ,  김성동 ,  김은경

한국재료학회지

2016 .01

스퍼터링법으로 증착된 SnO₂ 박막의 수소 플라즈마 처리에 의한 전기적, 구조적 특성 영향

김혜리 ,  김동호 ,  이건환 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

SnCl₄가수분해 반응의 화학증착법에 의한 SnO₂ 박막의 제조 및 가스센서 특성(Ⅰ) : 증착변수가 SnO₂ 박막의 증착거동 및 전기 비저항에 미치는 영향

김용일 ,  김광호 ,  박희찬

한국표면공학회지

1990 .06

반응성 DC 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 SnO₂:(Sb, F) 박막의 전기ㆍ광학적 특성

정영호 ,  신재혁 ,  송국현 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

DC 마그네트론 스퍼터법에 의한 SnO₂:(Sb, F) 박막의 제조

정영호 ,  신재혁 ,  송국현 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

Preparation and properties of SnO₂/Al/SnO₂ multi-layer thin films deposited by Sputtering

Keun Young Pa ,  k ,  Sung Jae Kim 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

MOCVD 방법으로 증착된 $SnO_2$ 박막의 CO 가스 감지 특성

박경희 ,  류현욱 ,  이우선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

$SnO_2$박막을 이용한 농업환경 계측용 가스 센서 개발

최용삼 ,  정재호 ,  김대승 외 1명

한국농업기계학회 학술발표논문집

1999 .01

R.F. magnetron Sputtering 법을 이용한 SnO2 박막센서의 제조 및 알코올 감도 특성

강주현 ,  유광수 ,  박상현

센서학회지

2005 .01

Fe₂O₃와 TiO₂를 첨가한 SO₂ 감지용 SnO₂ Thick Film 가스센서

김현지 ,  이수출 ,  황병욱 외 3명

한국에너지기후변화학회 학술대회

2017 .11

박막 형 가스 센서에 있어서 가스 감지 속도에 대한 막 두께의 영향

유도준 ,  준 타마키 ,  노리오 미우라 외 2명

한국재료학회지

1996 .01