플라즈마 화학증착법으로 제조된 수소화된 비정질 탄화실리콘 박막의 전기 및 광학특성에 대한 붕소의 도핑효과

김현철 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .07

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .06

붕소 도핑된 수소화 비정질 실리콘 박막의 광도전 특성

박욱동 ,  박기철 ,  박창배 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics

Ka-Hyun Kim

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

붕소 도핑된 수소화 비정질 실리콘 박막의 광도전 특성 ( Photoconductive Properites of B-doped Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Films )

박욱동 ,  박기철 ,  박창배 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

PECVD 방법으로 제조된 비정질 Si 박막의 RTP를 이용한 결정화 연구

심찬호 ,  김하나 ,  김성준 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

붕소 도핑된 수소화 비정질 실리콘 산화막의 수소 희석 효과

전성호 ,  박진주 ,  이영석 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .04

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구

김종석 ,  전병혁 ,  이응직 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

Electrical Properties of Doped and Undoped Hydrogenated Amorphous Silicon

Jin-Seok Pa ,  k ,  Min-Koo Han 외 1명

JOURNAL OF KIEE

1988 .03

PECVD 실리콘질화막에 대한 이온빔 방사효과

이상환 ,  이중환 ,  서경수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 제조 및 특성 평가

심재현 ,  박명범 ,  한규호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Characterization of B-doped a-Si : H Films Deposited by PECVD and Their crystallization behavior

정우철 ,  이정노 ,  안병태 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

Si 함량이 PECVD SiON 박막의 전기적 및 광학적 물성에 미치는 영향

유춘근 ,  구자춘 ,  오수진 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01