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Locos구조에 대한 2차원 모델링 ( Two-Dimensional Modeling of Locos Structure )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
LOCOS구조에 대한 2차원 모델링
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
상온 플라즈마 질화막을 이용한 새로운 LOCOS공정에 관한 연구 ( Study of a New LOCOS Process using Room Temperature Plasma Nitridation )
대한전자공학회 학술대회
1987 .05
LOCOS 공정에서 새부리 크기 감소를 위한 연구 ( A Study on the Reduction of Bird`s Beak in the LOCOS Process )
전자공학회논문지
1990 .01
Oxidation Model에 따른 Advanced LOCOS 구현에 관한 연구 ( A Study for Advanced LOCOS Implement Depend On Oxidation Models )
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
LOCOS 공정에서 새부리 감소를 위한 최적화에 대한 연구 ( A Study on the Optimum for Bird's Beak Reduction in the LOCOS Process )
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
The Fabrication of Polysilicon Nano-Structure using Thin Film Stress and LOCOS Process
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
LPCVD 질화막 만을 이용한 새로운 LOCOS 공정에 관한 연구 ( Study of a New LOCOS Process Using Only Thin LPCVD Nitride )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
LPCVD 질화막 만을 이용한 새로운 LOCOS 공정에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .07
상온 플라즈마 질화막을 이용한 새로운 부분산화공정의 물성 및 전기적 특성에 관한 연구 ( Study on the Material and Electrical Characteristics of the New Semi-Recessed LOCOS by Room Temperature Plasma Nitridation )
전자공학회논문지
1989 .04
폴리 실리콘을 첨가하여 LOCOS 구조를 개량한 경우 소자분리 특성에 관한 연구 ( A Study on the Bird's Beak-reduced LOCOS Isolation by Adding Polysilicon )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
폴리 실리콘을 첨가하여 LOCOS 구조를 개량한 경우 소자분리 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .07
Field Oxide Thinning Effect가 없는 LOCOS계열의 새로운 소자분리법
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
Silicon and Metal tip Arrays Fabricated by LOCOS
대한전자공학회 학술대회
1995 .07
Silicon and metal tip arrays fabricated by LOCOS
대한전자공학회 학술대회
1995 .06
해석모델을 이용한 3차원 산화 시뮬레이션 ( Three-Dimensional Analytic Model of LOCOS )
대한전자공학회 학술대회
1993 .01
High Pressure Dry O2 LOCOS Field Oxidation for Advanced Isolation Technique
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1993 .01
3차원 비구조형 Delaunay 순응 메쉬 생성기 제작과 R-LOCOS 시뮬레이션에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
CHARACTERIZATION OF BIRD`S BEAK-REDUCED LOCOS ISOLATION
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
SOI NMOSFET에서 Edge 효과 감소를 위한 LOCOS 공정
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
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