초음파분무를 이용한 MOCVD에 의한 PZT 박막의 제조

이석원 ,  김인태 ,  김동영 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Dielectric Properties of Ta₂O_5-X Thin Films with Buffer Layers

In-Sung Kim ,  Jae-Sung Song ,  Mun-Soo Yun 외 2명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2002 .08

저압화학증착법에 의해 제조된 PZT박막의 특성

김용범 ,  윤순길 ,  김종오

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Substrate Dependence of $CeO_2$ and $Yb_2O_3$ Buffer Layers Prepared by MOCVD Method

Jun ,  Byung-Hyuk ,  Choi 외 9명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2005 .01

MOCVD법에 의한 PZT 박막의 증착 및 전기적 특성에 관한 연구

신주철 ,  이종명 ,  홍석경 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

MOCVD법으로 버퍼층을 활용한 ZnO 박막 제조

박재영 ,  이동주 ,  윤영수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

초음파분무를 이용한 MOCVD 에 의한 $ZrO_2$박막의 제조

김동영 ,  이춘호 ,  박순자

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Growth and characterization using an GaN Buffer Layer by Low Pressure MOCVD

손성진 ,  이철로 ,  임재영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

초음파분무를 이용한 MOCVD법에 의한 $BaTiO_3$ 박막 제조

김인태 ,  김동영 ,  이춘호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Fabrication of $Yb_2O_3$ Films by MOCVD Method

Jung ,  Woo-Young ,  Jun 외 8명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2006 .01

PZT 박막 캐퍼시터의 특성에 기여하는 PZT-전극계면층의 영향

김태호 ,  구준모 ,  민형섭 외 2명

한국재료학회지

2000 .01

Plasma Enhancd MOCVD법에 의해 Pt/Ti/$SiO_2$/Si 위에 제조된 $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$박막의 전기적 특성에 관한 연구

이재창 ,  신웅철 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

RF-마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 이층형 PZT의 특성평가

임실묵

한국산학기술학회 논문지

2020 .08

MOCVD를 이용한 Si(001) 기판 위에 GaAs 박막 성장 및 분석

한원석 ,  고영호 ,  김갑중 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Preparation of Low-Tomperature Fired PZT Thick Films on Si by Screen Printing

JeongSeogKim ,  KyuSeokBang ,  HyeungGyuLee 외 3명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2003 .01

PZT(5/95)PZT(95/5) 이종층 박막의 코팅횟수에 따른 구조적 특성

노현지 ,  이성갑 ,  남성필 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .11

초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )

마재평 ,  백수현 ,  황유상

전자공학회논문지-A

1995 .12

PZT 후막의 미세 구조적 특성에 조성과 전구체 용액의 코팅이미치는 영향

박상만 ,  이성갑 ,  노현지

전기전자재료학회논문지

2006 .01

Multi-coating법으로 제조된 두꺼운 PZT막의 두께 변화에 따른 미세구조 및 전기적 특성

박준식 ,  장연태 ,  박효덕 외 2명

한국재료학회지

2002 .01

초고집적 회로용 PZT박막의 형성조건 - 스퍼터링법으로 Si , TiN/Ti/Si 기판위에 증착된 PZT 박막의 급속 열처리에 의한 결정화 및 특성 - ( Formation Conditions of PZT Thin Films for ULSI - A Study on the formation and characteristics of PZT thin films by rapid thermal annealing - )

마재평 ,  박치선 ,  백수현 외 4명

전자공학회논문지-A

1993 .10