반도체 기억소자 케페시터를 위한 하부전극 Platinum 박막의 특성

Park, Eun-Suck; Yoon, Soon-Gil

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Park, Eun-Suck (Chungnam National University Department of Materials Engineering Daeduk Science Town) Yoon, Soon-Gil (Chungnam National University Department of Materials Engineering Daeduk Science Town)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1998년도 한국재료학회 춘계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 1998.1

수록면: 85 - 85 (1page)

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Park, Eun-Suck

소속기관 Department of Materials Engineering, Chungnam National University, Daeduk Science Town

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 2 이용수 1

Yoon, Soon-Gil

소속기관 Department of Materials Engineering, Chungnam National University

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 12 이용수 1

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