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학술대회자료
저자정보
박진우 (한양대학교 금속재료공학과) 한정훈 (한양대학교 금속재료공학과) 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) 정상철 (LG반도체 기반 기술연구소) 김재정 (LG반도체 기반 기술연구소)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 춘계학술발표회
발행연도
1997.1
수록면
25 - 25 (1page)

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1999

계면 활성제 첨가한 암모니아수의 소수성 실리콘 웨이퍼와의 반응 세정 효과
박진우 ,  박진구 ,  김기섭 외 1명 한국재료학회지 1999.01 학술저널

1997

계면 활성제 첨가한 암모니아수의 실리콘 웨이퍼와의 반응 및 세정 효과
박진우 ,  한정훈 ,  박진구 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

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