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학술대회자료
저자정보
Lee, Youn-Jin (Dept. of Nano Science and Technology, University of Seoul) Lee, Kyoung-Min (Dept. of Nano Engineering, University of Seoul) Hwang, Jae-Dam (Dept. of Nano Science and Technology, University of Seoul) No, Kil-Sun (Dept. of Nano Science and Technology, University of Seoul) Yoon, Kap-Soo (Samsung Electronics Co.,Ltd.) Yang, Sung-Hoon (Samsung Electronics Co.,Ltd.) Hong, Wan-Shick (Dept. of Nano Science and Technology, University of Seoul)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
발행연도
2009.1
수록면
557 - 559 (3page)

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We attempted modulation of hydrogen dilution ratio to achieve both the minimal incubation layer and high deposition rate. The incubation layer thickness was estimated by transmission electron microscopy (TEM) and crystallization fraction was measured by Raman spectroscopy.
#Nanocrystalline Silicon #Catalytic CVD #Low Temperature #Flexible display

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