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저자정보
Lee, Sung-Youp (Dept. of Nano-Science and Technology, Kyungpook National University) Kim, Do-Eok (School of Electrical Engineering and Computer Science, Dept. Kyungpook National University) Shin, Byong-Wook (Dept. of Physics, Kyungpook National University) Kang, Byoung-Ho (School of Electrical Engineering and Computer Science, Dept. Kyungpook National University) Hong, Seok-Min (Dept. of Sensor an Display Engineering, Kyungpook National University) Kang, Shin-Won (School of Electrical Engineering and Computer Science, Dept. Kyungpook National University) Lee, Hyeong-Rag (Dept. of Nano-Science and Technology, Kyungpook National University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
발행연도
2009.1
수록면
899 - 901 (3page)

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The magnesium fluoride ($MgF_2$) has very higher optical transmission than oxide or nitride material applied for gas barrier, so we manufactured Mg-Zn-F films with Mg-Zn-F target mixed in the various ratio of $MgF_2$ to Zn and characterized films' properties. Zn is used to increase packing density of barrier film. Thickness and optical transmission of Mg-Zn-F are 200 nm and over 90 %, respectively. The result of water vapor transmission rate at 38, RH 90 ~ 100% of the Mg-Zn-F film deposited with 4 : 6 ($MgF_2$ : Zn) ratio target reached below $1{\times}10^{-3}g$/($m^2{\cdot}day$), measuring limit of instrument.
#flexible display #organic light emitting diode #OLED) #thin film passivation

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