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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제27권 제11호
발행연도
2014.1
수록면
760 - 765 (6page)

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플렉서블 소자에 대한 적용으로 MgZnO는 많은 관심을 받고 있다. 플렉서블 소자를 위해서는 평탄도가 좋지 않은 플렉서블 기판에서 우수한 박막 특성을 얻어야 한다. 따라서, 본 연구에서는 PLD (pulsed laser deposition)을 이용하여 산소 분압에 의한 Mg0.3Zn0.7O 박막의 구조적, 광학적 특성에 관해 연구하였다. Mg0.3Zn0.7O 박막의 구조적 특성을 분석하기 위해 X-ray diffraction과 Atomic Force Microscopy을 사용하였다. Mg0.3Zn0.7O 박막의 결정성은 온도가 증가함에 따라 향상되었으며, 박막의 Grain size와 RMS는 증가하는것을 확인할 수 있었다. UV-Visible spectrophotometer를 통해 박막의 밴드갭과 투과율을 분석하였다. Mg0.3Zn0.7O 박막은 가시광선 영역에서 90% 이상의 높은 투과율을 보였으며 산소 분압이 30 mTorr에서 200 mTorr로 증가함에 따라 Mg0.3Zn0.7O 박막의 밴드갭은 3.59 eV에서 3.50 eV로 감소하는 것을 볼 수 있었다.
#Oxide semiconductor #Flexible device #Bandgap #Thin film #Transmittance

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A. Ohotomo / 1998 / / Appl. Phys. Lett. 72 : 2466 ~ google schola D. C. Look / 2001 / / Mater. Sci. Eng. B 80 : 383 ~ google schola H. S. Kang / 2004 / / J. Appl. Phys. 95 : 1246 ~ google schola J. Park / 2003 / / J. KIEEME 16 : 1115 ~ google schola L. C. Ji / 2011 / / Thin Solid Films 519 : 3789 ~ google schola

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