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자료유형
학술대회자료
저자정보
한용희 (고려대학교 신소재공학과, 한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터) 김근테 (한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터) 이승훈 (한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터) 신현준 (한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터) 문성욱 (한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터) 최인훈 (고려대학교 신소재공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 추계 학술대회
발행연도
2005.1
수록면
124 - 128 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

볼로메터용 바나듐-텅스텐 산화물로 표면 미세가공한 비냉각 적외선 감지기의 특성
한용희 ,  김근테 ,  이승훈 외 3명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2005.01 학술대회자료

2003

텅스텐 첨가에 의한 적외선 소자용 바나듐 옥사이드의 특성 향상
한용희 ,  최인훈 ,  김근태 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료

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To produce a highly sensitive uncooled microbolometer, the development of a high-performance thermometric material is essential. In this work, amorphous vanadium-tungsten oxide was developed as a thermometric material at a low temperature of $300^{\circ}C$, and the microbolometer, coupled with the material, was designed and fabricated using surface micromachining technology. The vanadium-tungsten oxide showed good properties for application to the microbolometer, Such as a high temperature coefficient of resistance of over -4.0 $\%$/K and good compatibility with the surface micromachining and integrated circuit fabrication process due to its low fabrication temperature. As a result, the uncooled microbolometer could be fabricated with high detectivity over $1.0\;{\times}\;10^9\;cmHz^{1/2}/W$ at a bias current of $7.5\;{\mu}A$ and a chopper frequency of 10-20 Hz

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