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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
노영동 (호서대학교 전기정보통신공학부) 주효남 (호서대학교 디지털디스플레이공학과) 김준식 (호서대학교 전기정보통신공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집
발행연도
2004.1
수록면
132 - 137 (6page)

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반도체 소자의 마킹 / 표면 검사에 대한 적응적 reference 데이터 자동 획득 알고리즘과 검사에서의 실시간 정합 알고리즘을 개발하여, 모든 반도체 소자의 마킹 / 표면 검사에 대한 오류를 검출할 수 있는 마킹 / 표면 검사 시스템을 개발한다.

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