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한국산학기술학회 한국산학기술학회 학술대회논문집 한국산학기술학회 2003년도 춘계학술발표대회 논문집
발행연도
2003.6
수록면
113 - 115 (3page)

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우리가 타자기로 글을 쓸 때는 먹지리본을 햄머가 가격하여 종이 위에 글씨 형태의 먹이 묻는 원리로 진행된다. 이러한 원리를 미세 패터닝에 응용하여, 해머 역할을 하는 Nd-YAG 레이저로 유리기판/100㎚ Cr(먹지)/ / 실리콘기판 (종이) 구조의 적층물에 조사시켜 Cr이 실리콘기판 위에 전사됨으로써 미세 패터닝이 가능한지 확인하였다. 제안된 미세 패터닝은 TeraBit/ in ... 전체 초록 보기

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