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학술대회자료
저자정보
권상진 (광주과학기술원 기전공학과) 정성호 (광주과학기술원 기전공학과) 장원석 (한국기계연구원 나노공정그룹) 천채민 (광주과학기술원 신소재공학과) 김동유 (광주과학기술원 신소재공학과)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 한국레이저가공학회 2005년도 춘계학술발표대회 논문집
발행연도
2005.1
수록면
21 - 25 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2005

근접장나노리소그라피를 이용한 광폴리머박막상의 나노패터닝
권상진 ,  정성호 ,  장원석 외 2명 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2005.01 학술대회자료

2004

근접장현미경을 이용한 폴리머박막 나노리쏘그라피 공정의 특성분석
권상진 ,  김필규 ,  장원석 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료
He-Cd 레이저와 근접장현미경을 이용한 폴리머박막 나노리소그라피 공정의 특성분석
권상진 ,  김필규 ,  천채민 외 3명 한국레이저가공학회지 2004.01 학술저널

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