Thermal Stability of Ruthenium and Iridium Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition

김성욱; 권세훈; 강상원

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김성욱 (한국과학기술원) 권세훈 (한국과학기술원) 강상원 (한국과학기술원)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및

발행연도: 2007.1

수록면: 182 - 182 (1page)

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