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Han, Jae-Hee (Department of Physics, Sungkyunkwan University) Lee, Tae-Young (Department of Physics, Sungkyunkwan University) Yoo, Ji-Beom (Department of Physics, Sungkyunkwan University) Park, Chong-Yun (Department of Physics, Sungkyunkwan University) Jung, Tae-Won (NCRI Center for Electron Emission Source, Samsung Advanced Institute of Technology) Yu, Se-Gi (NCRI Center for Electron Emission Source, Samsung Advanced Institute of Technology) Yi, Whi-Kun (NCRI Center for Electron Emission Source, Samsung Advanced Institute of Technology) Kim, Jong-Min (NCRI Center for Electron Emission Source, Samsung Advanced Institute of Technology)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2002년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2002.1
수록면
658 - 661 (4page)

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Chemical species during growth of carbon nanotubes (CNTs) in direct current-plasma enhanced chemical vapor deposition were studied in details using $C_3H_4-NH_3$ and $CO-NH_3$ mixtures through optical emission spectroscopy (OES). In the $C_3H_4-NH_3$ system, the relative intensities of CN (388.3 nm) and CH (431.4 nm) decreased and that of $C_2$ (436 nm) increased, leading to $sp^2$-graphization into the CNT structure, leading to improvement of field emission property of CNTs. In the $CO-NH_3$ system, the trend is completely reversed. Attributing to the atomic oxygen for helping the graphitization of carbon, CNTs could be grown under the flow rate of CO (180 sccm)-$NH_3$ (10 sccm). Through these results, we suggest the growth mechanism in our system.

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