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자료유형
학술대회자료
저자정보
Lee, Woon-Seob (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology) Han, Man-Hee (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology) Lee, Sung-Keun (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology) Lee, Seung-S (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2002년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2002.1
수록면
994 - 996 (3page)

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We present a novel fabrication method for a V-grooved mold of the light guide plat of TFT-LCD with MEMS technology. This method is performed by the inclined UV lithography and Ni electroplating unlike the previous mechanical processing technique. V-grooves with different dimension can be made simultaneously with single photomask.

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