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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2001년도 International Meeting on Information Display
- 발행연도
- 2001.1
- 수록면
- 3 - 8 (6page)
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This paper will review the state of the latest development of AMLCD manufacturing facilities for large Substrate and discuss the future technologies. The trend of the display size enlargement of Note book PC has hauled the enlargement of the mother glass substrate in past 10 years. The enlargement of a substrate size has brought about the productivity improvement of the TFT panel with process innovation as yet. Will this trend be continuing hereafter too? The issues of the processing and facilities related with the large square substrate and mask step reduction will be overviewed and the future processing and facilities will be discussed.
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