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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2002년도 International Meeting on Information Display
- 발행연도
- 2002.1
- 수록면
- 171 - 174 (4page)
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When boron ions are doped into the poly-Si films, the hydrogen ions doped with boron ions compensate the defect sites and suppress to produce damage density. These samples can be easily activated by hydrogen doping at high acceleration voltage($V_{acc}$).
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