Soft Magnetic Properties of CoNbZr amorphous Films with Pd addition

Song, J.S,; Wee, S.B,

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Song, J.S, (Korea Electrotechnology Research Institute) Wee, S.B, (School of Information Technology, Korea University of Technolog and Education)

저널정보: 한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2002년도 추계학술대회 발표 논문집

발행연도: 2002.1

수록면: 54 - 58 (5page)

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The present paper is to investigate the phase stability and soft magnetic properties of amorphous CoNbZr films when Pd is added as a substitution for CoNbZr alloys. The films were prepared by a RF magnetron sputtering method. The CoNbZrPd films deposited on Si wafers exhibited amorphous structures being independent upon the amount of Pd added in the films. On the addition of 4.34% Pd, the excellent soft magnetic characteristics of the films were observed with a coercive force of 0.54 Oe and an anisotropy field of 11 Oe, whereas a coercive force of 1 Oe and an anisotropy field of 3.5 Oe were shown in the film without the addition of Pd. The increased anisotropy field and low coercive force of the films may be attributed to the occupancy of Pd in the preferred sites parallel to the external magnetic field applied on the deposition process. A permeability of about 1100 was kept constant in the operation frequency ranging up to 100 MHz, which can be explained by the Landau-Lifshitz formula.

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Song, J.S,

소속기관 Korea Electrotechnology Research Institute

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Wee, S.B,

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