PECVD법으로 증착시킨 a-SiC:H 박막의 열처리온도 변화에 따른 특성분석

박문기 ,  최원석 ,  김인준 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

PECVD로 증착된 SiC 박막의 다양한 금속으로 제작된 SiC Schottky diode 전기적 특성에 따른 연구

송진형 ,  김정우 ,  김지균 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .11

수소 기체와 HMDS 프리커서의 저온 PECVD공정을 통한 실리콘옥사이드 박막의 표면에너지 개질

이준석 ,  진수봉 ,  최윤석 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

플라즈마 화학증착법에 의한 $\mu$C-SiC:H 박막의 성장

김현철 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Growth and Characterization of a-Si :H and a-SiC:H Thin Films Grown by RF-PECVD

Y. T. Kim ,  S. J. Suh ,  D. H. Yoon 외 8명

한국표면공학회지

2001 .10

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .07

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .06

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

HMDS 단일 전구체를 이용한 다결정 3C-SiC 박막 성장

정귀상 ,  김강산 ,  한기봉

전기전자재료학회논문지

2007 .01

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

실시간 HMD용 영상을 위한 모듈 제작 기법에 관한 연구

박재형 ,  이혁진 ,  최정희 외 1명

한국정보과학회 학술발표논문집

2016 .06

비대칭 가상현실에서의 현존감을 위한 HMD 사용자와 Non-HMD 사용자간 몰입형 상호작용에 관한 연구

이지원 ,  김민규 ,  김진모

컴퓨터그래픽스학회논문지

2018 .07

SiC/SiC 복합재료의 제조 및 특성

이상필 ,  이진경 ,  손인수

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .02

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

SiC 단체와 SiC/SiC 복합재료의 충격파괴거동

서민수 ,  서창민

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .02

HMD 기반 증강현실 응용을 위한 인터페이스

안상철 ,  이경준 ,  김형곤

컴퓨터그래픽스학회논문지

2007 .06

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Characteristics of SiO₂ Films Deposited by Remote-type Atmospheric Pressure PECVD at Low Temperature Using HMDS-O₂-He

Yang Su Kim ,  Jun Hee Lee ,  Jong Sik Oh 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06