대면적 레이저 직접묘화 공정에서 비점수차 자동초점 기술 연구

김기홍; 최기봉

doi:10.7735/ksmte.2020.29.4.267

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김기홍 (Korea Institute Machinery and Materials) 최기봉 (Korea Institute Machinery and Materials)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.29 No.4

발행연도: 2020.8

수록면: 267 - 273 (7page)

DOI: 10.7735/ksmte.2020.29.4.267

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2020

대면적 레이저 직접묘화 공정에서 비점수차 자동초점 기술 연구

김기홍 , 최기봉 한국생산제조학회지 2020.08 학술저널

2019

비점수차 자동 초점을 이용한 대면적 펨토초 레이저 직접묘화 시스템

김기홍 , 이재종 , 최기봉 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.05 학술대회자료

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We developed an astigmatic autofocus optics and a control unit which were implemented in a direct laser writing system for a large area patterning process. The autofocus module is comprised of a collimated laser, a quadrant photodiode, an astigmatic lens, and a few polarizing optics. This system has a 0.526 V/μm focus error signal resolution in the 50x objective lens and a surface tracking capability of under 1 mm/s XY translation stage speed. In this study, we conducted a patterning experiment using SU-8 photocurable resist on a silicon wafer to study the accuracy of the astigmatic autofocus system. We highlighted some features of this system for future improvement.

#Autofocus #Astigmatism #Direct laser writing #3D patterning

참고문헌 (7)

참고문헌 신청

Baldacchini, T. / 2016 / Three-dimensional Microfabrication Using Two-photon Polymerization / Elsevier

Kwang-Sup Lee / 2006 / Recent developments in the use of two-photon polymerization in precise 2D and 3D microfabrications / Polymers for Advanced Technologies 17(2):72~82

Kim, G. E. / 2013 / Optomechanical Optimization of Dynamic Focusing Unit for 3D Laser Scanner / Proc. Korean Soc. Manuf. Technol. Eng. Autumn Conf :314

백병만 / 2012 / 3차원 레이저 다이렉트 패터닝 시스템 개발 / 한국생산제조학회지 21(1):116~122

Hsu, W. Y. / 2009 / Development of the Fast Astigmatic Auto-focus Microscope System / Meas. Sci. Technol 20:1~9

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