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논문 기본 정보

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저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제26권 제4호
발행연도
2019.1
수록면
63 - 68 (6page)

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온도 및 압축응력 변화에 따른 PIN-PMN-PT계 압전 단결정의 유전 특성과 압전 특성을 조사하였다. 단결정의결정상은 110oC 영역에서 강유전 rhombohedral 구조에서 tetragonal 구조로, 190oC 영역에서 tetragonal 구조로부터 상유전 cubic 구조로 변화하였다. 전계 인가에 따른 분극 및 변위의 변화율로부터 압전상수와 비유전율을 계산하였으며, 이는계측기로부터 측정된 값과 유사한 수준을 나타내었다. 샘플에 인가되는 압축응력이 증가할수록 압전상수 d33과 비유전율값은 증가하는 경향성을 나타내었다. 측정 온도 5oC에서 샘플에 인가되는 압축응력이 60 MPa인 경우 d33 값이 4500 pC/ N로 계산되었으며, 측정 온도 60oC인 경우, 샘플에 인가되는 압축응력이 40 MPa 일 때 비유전율 62000이 계산되었다. 압축응력이 높아질 때 압전상수와 비유전율 값이 상승한 것은 rhombohedral 상에서 orthorhombic 상으로의 전이에 기인한 것으로 판단된다.

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이진형 / 2015 / 졸-침투와 감광성 직접-패턴 기술을 이용하여 스크린인쇄된 Pb(Zr,Ti)O3 후막의 하이브리드 제작 / 마이크로전자 및 패키징학회지 22(4):83~89 dbpia 이기근 / 2005 / Improving sensitivity of SAW-based pressure sensor with metal ground shielding over cavity / 마이크로전자 및 패키징학회지 12(3):267~274 dbpia S. W. Choi / 1989 / Dielectric and Pyroelectric Properties in the Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 –PbTiO3 System / Ferroelectrics 100:29 google schola K. Uchino / 1986 / Electrostrictive Actuators: Materials and Applications / Am. Ceram. Soc. Bull 65(4):647 google schola J. A. Gallagher / 2014 / Composition dependence of electro-mechanical properties and field induced phase transformations in [001]C PIN–PMN–PT single crystals / Smart Mater. and Struct 23(9):095031 google schola

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