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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2020.6
- 수록면
- 36 - 42 (7page)
- DOI
- 10.9726/kspse.2020.24.3.036
이용수
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The development of high frequency ultrasonic transducer is crucial for detecting cracks or internal defects of some materials such as semiconductors, PCBs, and display panels with a size of few microns for the scanning acoustic microscopy (SAM) system. In this study, high frequency ultrasonic transducer was fabricated with a 13 μm thick ZnO film deposited on a sapphire substrate by DC sputtering machine. Ultrasonic transducer with 100 MHz center frequency, -6 dB bandwidth of 21% and the insertion loss of -68 dB was designed for the SAM system. Experimental results show that high frequency ultrasonic transducer device may have potential for high resolution application of nondestructive test and can be applied for various acoustic imaging system such as photoacoustic imaging in the future.
목차
Abstract
1. 서론
2. 초음파 트랜스듀서 제작
3. 성능시험 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (5)
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Chunlong Fei / 2016 / Ultrahigh Frequency (100 MHz–300 MHz) Ultrasonic Transducers for Optical Resolution Medical Imagining / Scientific Reports 6(1):28360
Qifa Zhou / 2011 / Piezoelectric films for high frequency ultrasonic transducers in biomedical applications / Progress in Materials Science 56(2):139~174
Qifa Zhou / 2014 / Piezoelectric single crystal ultrasonic transducers for biomedical applications / Progress in Materials Science 66:87~111
Q. F. Zhou / 2007 / Self-focused high frequency ultrasonic transducers based on ZnO piezoelectric films / Applied Physics Letters 90(11):113502
Chunlong Fei / 2015 / Design of matching layers for high-frequency ultrasonic transducers / Applied Physics Letters 107(12):123505
Qifa Zhou / 2011 / Piezoelectric films for high frequency ultrasonic transducers in biomedical applications / Progress in Materials Science 56(2):139~174
Qifa Zhou / 2014 / Piezoelectric single crystal ultrasonic transducers for biomedical applications / Progress in Materials Science 66:87~111
Q. F. Zhou / 2007 / Self-focused high frequency ultrasonic transducers based on ZnO piezoelectric films / Applied Physics Letters 90(11):113502
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