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저자정보
조용재 (연세대학교) 박지훈 (연세대학교) 임성일 (연세대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제58회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2020.2
수록면
219 - 219 (1page)

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