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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.12
- 수록면
- 934 - 944 (11page)
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본 논문에서는 칩 상에서 multi-line THRU-REFLECT-LINE(mTRL) 교정을 이용 시, 전파상수법을 기초로 한 LINE 표준기의 특성 임피던스 획득 방식의 정확성을 높이기 위한 방법을 제안하였다. 이 방식은 전파상수 법에서 필요한 단위길이 당 캐패시턴스를 전자기 시뮬레이션을 이용하여 구할 때, 기본 기판 정보를 이용하지 않고 mTRL 교정으로 얻은 전파상수 측정값과 근접한 결과를 얻도록 유전 정보를 보정한 기판을 이용함으로써, 정확도를 향상시켰다. 상용 off-chip 임피던스 표준기를 이용한 결과와 저주파수 대역에서 비교하여 개선되었음을 검증하였다. 또한, 밀리미터파 대역에서 이용되었던 시뮬레이션 결과만으로 특성 임피던스를 얻는 방식을 함께 비교하였고, 전파상수의 측정값을 이용하는 전파상수법이 칩 상의 특성 임피던스를 구하는 데 적합함을 보였다. 최종적으로 CMOS 28 ㎚ 공정을 이용해서 제작한 트렌지스터의 고유특성을 110 ㎓까지 추출하였고, 사용한 특성 임피던스에 따른 결과 값을 비교하였다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. mTRL 교정 표준기 설계
Ⅲ. 특성 임피던스 결정
Ⅳ. 산란계수의 임피던스 재정규화
Ⅴ. 트랜지스터 고유 특성 추출
Ⅵ. 결론
References
참고문헌 (22)
참고문헌 신청
L. F. Tiemeijer / 2005 / Comparison of the ‘pad-open-short’; and ‘open-short-load’ deembedding techniques for accurate on-wafer RF characterization of high-quality passives / IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 53(2):723~729
X. S. Loo / 2016 / A hybrid pad-line-finger de-embedding technique for broadband modeling of CMOS transistor / IEEE Microwave and Wireless Components Letters 26(7):507~509
A. M. Mangan / 2006 / De-embedding transmission line measurements for accurate modeling of IC designs / IEEE Transactions on Electron Devices 53(2):235~241
D. F. Williams / 2013 / A prescription for sub-millimeter-wave transistor characterization / IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology 3(4):433~439
H. Kim / 2016 / Broadband thin-film transmission-line characterization for accurate high-frequency measurements of on-wafer components / IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 64(3):931~938
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A. M. Mangan / 2006 / De-embedding transmission line measurements for accurate modeling of IC designs / IEEE Transactions on Electron Devices 53(2):235~241
D. F. Williams / 2013 / A prescription for sub-millimeter-wave transistor characterization / IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology 3(4):433~439
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