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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.10
- 수록면
- 412 - 417 (6page)
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In this paper, a design procedure of damping controller for third-order nanopositioning stage is presented for high-speed triangular scanning. Conventionally, damping control schemes of integral resonant control (IRC) and resonance-shifted IRC (RS-IRC) are designed providing that a second-order model can be identified for a nanopositioning stage. For a third-order system, existing control schemes cannot be applied directly. For this, a pole-zero cancellation technique is presented to design IRC scheme. In addition, a state observer based pole placement technique is proposed for RS-IRC design. The effectiveness of the proposed design procedures is demonstrated through both simulations and experiments based on a piezo-actuated nanopositioning stage platform. Results show that a closed-loop bandwidth of 156 Hz and 186 Hz are obtained by designed IRC and RS-IRC for the third-order nanopositioning stage, and the root-mean-square (RMS) errors of 40 Hz triangular tracking are 49 nm and 13 nm under IRC and RS-IRC control, respectively.
목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. EXPERIMENTAL SETUP AND SYSTEM IDENTIFICATION
3. CONTROLLER DESIGN FOR THIRD-ORDER SYSTEMS
4. EVALUATIONS
5. CONCLUSIONS
REFERENCES
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