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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.7
- 수록면
- 188 - 192 (5page)
이용수
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반도체 소자의 소형화, 고집적화로 박막의 다층화 및 선폭 감소로 인한 실리콘 웨이퍼와 금속 박막 사이의 확산을 방지하기 위한 많은 연구가 이루어지고 있다. 본 연구는 tungsten (W)을 주 물질로 증착시 nitrogen (N)의 유량을 2.5∼10 sccm으로 변화시키며 증착된 확산방지막의 nano-mechanics 특성에 대해 연구하였다. 증착률, 비저항 및 결정학적 특성을 β-ray backscattering spectroscopy, 4-point probe, X-ray diffraction (XRD)을 이용하여 측정한 후 Nano-indenter를 사용하여 nano-mechanics 특성을 조사하였다. 그 결과 질소 가스 유량이 5 sccm 포함된 박막에서 표면 경도(surface hardness)는 10.07 에서 15.55 GPa로 급격하게 증가하였다. 이후 질소가스의 유량이 7.5 및 10 sccm에서는 표면 경도가 각각 12.65와 12.77 GPa로 질소 가스 유량이 5 sccm인 박막보다 표면경도가 상대적으로 감소하였다. 이는 박막 내 결정질과 비정질의 W과 N의 결합 비율의 차이에 의한 영향으로 생각되며, 또한 압축응력에 기인한 스트레스 증가가 원인으로 판단된다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
References
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
J. F. Marco / 2005 / Surf. Interface Anal 37:1082
S. Veprek / 2008 / Surf. Coat. Technol 202:5063
김수인 / 2007 / Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구 / 한국진공학회지 16(5):348~352
김수인 / 2008 / W-C-N 확산방지막의 격자상수 변화 분석을 통한 특성 연구 / 한국진공학회지 17(2):109~112
김수인 / 2008 / 불순물을 주입한 텅스텐(W) 박막의 확산방지 특성과 박막의 물성 특성연구 / 한국진공학회지 17(6):518~522
S. Veprek / 2008 / Surf. Coat. Technol 202:5063
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김수인 / 2008 / W-C-N 확산방지막의 격자상수 변화 분석을 통한 특성 연구 / 한국진공학회지 17(2):109~112
김수인 / 2008 / 불순물을 주입한 텅스텐(W) 박막의 확산방지 특성과 박막의 물성 특성연구 / 한국진공학회지 17(6):518~522
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