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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.11
- 수록면
- 416 - 421 (6page)
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이 논문에서 광방출 분석법을 응용하여 반응용기 내부 오염과 특정 파장 크기변화의 관계를 알아보았다. 광방출 분석법을 이용하면 O₂ 플라즈마에서 폴리머가 제거되는 것이 관찰된다. 하지만 광방출 분석법은 외부영향에 의한 노이즈로 분석이 힘들며 다양한 조건에서의 폴리머 제거 상태를 비교하는 건 쉽지 않다. 이를 해결하고자 diff_CO 함수를 정의하고, 여러 경우에서의 diff_CO 함수 변화를 확인하였다. diff_CO 함수는 RF 인가시간이 증가함에 따라 최대값의 크기 감소와 작은 꼭지점 갯수의 증가를 관찰할 수 있으며, 이를 이용하면 반응용기를 열지 않고도 반응용기 내부 오염정도를 파악하여 반응용기 세정 시점을 정할 수 있었다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 식각부산물과 O₂ 플라즈마
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (10)
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1. [학술지(정기간행물)] - 이종철 / 2008 / 랑뮤어 탐침에 의해 변형된 열플라즈마 특성에 관한 해석적 연구 / 한국진공학회지 17 (3) : 189 ~ 194
2. [학술지(정기간행물)] - J. S. Kim / 2000 / / J. Korean Vaccum Soc 9 : 428 ~
3. [학술지(정기간행물)] - 장성호 / 2009 / Langmuir Probe Perturbation in Inductively Coupled Plasmas / Journal of the Korean Physical Society 55 (5) : 1869 ~ 1872
4. [기타자료] - K. H. Baek / 2007 / Process and Chamber Health Monitoring of Plasma Enhanced Ti Depostion Process through High Performance VI Probe IEEE ISSM 2007 : 1 ~
5. [학술지(정기간행물)] - H. H. Kim / 2003 / / Applied Phys. lett 83 : 4725 ~
2. [학술지(정기간행물)] - J. S. Kim / 2000 / / J. Korean Vaccum Soc 9 : 428 ~
3. [학술지(정기간행물)] - 장성호 / 2009 / Langmuir Probe Perturbation in Inductively Coupled Plasmas / Journal of the Korean Physical Society 55 (5) : 1869 ~ 1872
4. [기타자료] - K. H. Baek / 2007 / Process and Chamber Health Monitoring of Plasma Enhanced Ti Depostion Process through High Performance VI Probe IEEE ISSM 2007 : 1 ~
5. [학술지(정기간행물)] - H. H. Kim / 2003 / / Applied Phys. lett 83 : 4725 ~
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