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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
김수인 (국민대학교) 이규영 (국민대학교) 김주영 (국민대학교) 이창우 (국민대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제6호
발행연도
2011.11
수록면
456 - 460 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

나노트라이볼로지 분석을 이용한 W-N 나노박막의 표면 물성 연구
김수인 ,  이규영 ,  김주영 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2011.11 학술저널
나노트라이볼로지 분석을 이용한 W-N 나노박막의 표면 물성 연구
김수인 ,  이창우 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.08 학술대회자료

초록· 키워드

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최근 연구 중인 소자들의 크기가 점차 나노 크기를 가짐에 따라서 나노 영역에 대한 물성 분석 연구의 필요성이 대두되고 있다. 특히 나노 크기를 가지는 소자에 대한 기계적 특성은 기존의 마이크로 이상의 소자와는 다른 특성을 보이는 것으로 보고되고 있다. 그러나 이러한 나노 크기에 대한 연구에서 대부분을 차지하는 분광학적, 전기적 방법은 측정 영역 한계와 일정 깊이에 대한 평균적인 정보를 제공하게 된다. 본 연구에서는 나노트라이볼로지 분석의 대표적인 Nano-indenter 분석을 통하여 박막의 수 혹은 수십 나노 미만의 영역과 깊이에 대한 물리적 및 기계적 물성을 연구하였고, Scanning Probe Microscopy를 이용하여 시료 표면 형상을 분석하였으며, 이를 기반으로 수십 나노 이하 두께를 가지는 W-N 확산방지막에 대한 연구를 실시하였다. 연구 결과에 의하면, 박막의 표면 나노강도는 증착 중 질소 유량에 따라서 57.67 GPa에서 9.1 GPa로 급격한 감소가 나타내었고, 또한 탄성계수 역시 575.53 GPa에서 178.1 GPa로 감소되는 것을 확인하였다.
#확산방지막 #W-N 박막 #나노인덴터 #주사탐침현미경 #Diffusion barrier #W-N thin film #Nano-indenter #Scanning probe microscopy

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 김수인 / 2008 / 불순물을 주입한 텅스텐(W) 박막의 확산방지 특성과 박막의 물성 특성연구 / 한국진공학회지 17 (6) : 518 ~ 522 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - 김수인 / 2007 / Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구 / 한국진공학회지 16 (5) : 348 ~ 352 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - 김주영 / 2011 / Nanoindenter를 이용한 W-C-N 박막의 신뢰도 측정과 열적 안정성 연구 / 한국진공학회지 20 (3) : 200 ~ 204 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - 김수인 / 2008 / W-C-N 확산방지막의 격자상수 변화 분석을 통한 특성 연구 / 한국진공학회지 17 (2) : 109 ~ 112 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - Soo In Kim / 2007 / Characteristics of W-B-C-N Thin Diffusion Barrier for Cu Interconnects / Journal of the Korean Physical Society 50 (3) : 650 ~ 652 google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001273664