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저자정보
김동준 (광운대학교) 정종문 (광운대학교) 김정현 (광운대학교) 황하청 (광운대학교) 정재윤 (광운대학교) 조윤희 (광운대학교) 임현교 (광운대학교) 구제환 (광운대학교) 최은하 (광운대학교) 조광섭 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제1호
발행연도
2010.1
수록면
36 - 44 (9page)

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관경이 수 ㎜인 세관 램프 내부에서 플라즈마의 확산을 조사하기 위하여 이극성(ambipolar) 확산방정식을 해하였다. 반경 방향의 확산에 의한 유리관 벽에서의 플라즈마 소멸 특성시간은 <SUB>Tr</SUB>=(r?/2.4)²/Da로 주어진다. 반경 r?∼1 ㎜이고 이극성 확산계수 Da∼0.01 ㎡/s 이면, <SUB>Tr</SUB> ∼17 ㎲이다. 이는 램프의 교류전원 구동에서 플라즈마를 유지하기 위한 구동 최소 주파수 ∼30 ㎑에 해당한다. 고전압이 인가되는 전극부에 발생한 고밀도의 플라즈마가 양광주로 확산되는 특성시간은 <SUB>Tz</SUB>∼0.1 s이다. 고밀도 플라즈마 경계에서의 시간에 대한 확산속도는 t ∼10<SUP>-6</SUP> s일 때 u<SUB>D</SUB> ∼10² ㎧이고, t ∼10<SUP>-3</SUP> s이면 그 속도는 u<SUB>D</SUB> ∼1 ㎧로 느려진다. 따라서 램프 길이 ∼1 m에 대하여 전극부에서 생성된 고밀도 플라즈마가 양광주 전체로 확산되는 시간은 수 초가 걸린다.
#플라즈마 #방전 #확산 #양광주 #냉음극 형광램프 #외부전극 형광램프 #Plasma #Discharge #Diffusion #Positive column #CCF #EEFL

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 플라즈마 확산 방정식
Ⅲ. 확산 방정식의 완전 해
Ⅳ. 결과 및 논의
Ⅴ. 결론
부록: 플라즈마 밀도 계산
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
1. [단행본] - Waymouth / 1971 / Electric Discharge Lamp / MIT Press : 11 ~ 70 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - R. Y. Pai / 1997 / / SID 97 : 447 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 김동준 / 2008 / 냉음극 형광램프의 표준화 계측을 위한 실험과 분석 / 한국진공학회지 17 (4) : 331 ~ 340 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - 정재윤 / 2008 / 직관형 형광램프의 종단방전과 횡단방전의 특성 / 한국진공학회지 17 (4) : 322 ~ 330 dbpia 5. [단행본] - M. Lieberman / 2005 / Principles of Plasma Discharges and Materials Processing / Wiley & Sons : 36 ~ google schola

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