금속이온 주입기에서의 Co 이온의 인출 특성 연구

이화련; 홍인석; 티투안; 조용섭

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이화련 홍인석 티투안 조용섭

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제18권 제3호

발행연도: 2009.5

수록면: 236 - 243 (8page)

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양성자기반공학기술개발사업단에서는 설치된 금속이온주입기를 이용하여 금속이온의 인출 시험 중에 있으며 120keV의 금속이온주입이 가능하다. 현재 코발트 이온 주입의 타당성 확인을 위한 특성시험을 수행하고 있다. 이온원에 알루미나 도가니를 설치하여 분말 코발트 염화물을 고온(648℃) 가열에 의한 증기화로 인하여 플라즈마 방전이 되도록 하였다. 아크전압 120V, EHC 출력 250W에서 코발트 이온을 인출하기 위한 플라즈마를 발생하고 유지할 수 있었다. 코발트 이온 빔 전류는 플라즈마내 아크전류에 의존하였으며 0.18A일 때 최대 빔전류 100㎂를 얻을 수 있었다. 질량분리전자석에 의해서 Co?와 CoCl?, Cl? 이온의 첨두 빔 전류 비율을 확인하였고 전체 이온 대비 Co? 이온의 비율이 70% 수준을 유지함을 알 수 있었다. Co? 이온을 알루미늄 시료에 빔전류 10㎂, 90분 동안 이온주입 하여 RBS(Rutherford Backscattering Spectrometry)분석법으로 1.74×10<SUP>17</SUP>#/㎠의 이온량을 확인하였다.

#코발트 이온 #금속 이온 주입기 #버나스 이온원 #RBS 분석 #Co⁺ #Bernas ion source #Metal ion implanter #RBS analysis

참고문헌 (10)

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1. [학술지(정기간행물)] - Chulmin Choi / 2007 / / IEEE transactions on magnetics 43 (6) : 2121 ~ 2123

2. [학술지(정기간행물)] - Anders S / / / Surface & Coatings Techology

3. [학술지(정기간행물)] - Lavrentiev Vasily Vacik / 2008 / / Journal of Applied Physics A 3 : 673 ~ 680

4. [학술지(정기간행물)] - M. Gilliot / 2007 / / Journal of Applied Physics 101

5. [학술지(정기간행물)] - J R Tucker / 1996 / / Nanotechology : 275 ~ 287

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