침-평판 전극 사이에서 중간 압력 질소 방전의 시뮬레이션

고욱희; 박인호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 고욱희 박인호

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제6호

발행연도: 2008.11

수록면: 487 - 494 (8page)

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준 2차원 수치적 모델을 사용하여 침-평판(point-plane) 형의 전극 사이에 있는 중간 압력 질소의 방전에 대한 시뮬레이션을 수행하였다. 이 모델에서는 전자와 이온에 대한 연속방정식을 풀어 시ㆍ공간적으로 변하는 전하분포를 계산하고, 공간 전하 분포의 변화에 따라 결정되는 전기장은 푸아송 방정식을 풀어 얻는다. 연속 방정식은 FCT (Flux-corrected transport) 알고리즘과 FEM (Finite Element Method) 방법을 적용하여 수치적으로 다루어 졌다. 50Torr 압력에서의 질소 방전에 대한 시뮬레이션 결과는 중간 압력 질소 방전의 물리적 특성에 관한 상세한 이해를 제공한다. 또 계산 결과와 실험 결과와의 비교는 정성적으로 잘 일치하는 것을 보여 준다.

#질소 방전 #시뮬레이션 #FCT #FEM #침-평판 #Nitrogen discharge #Numerical simulation #Point-to-plane

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1. [학술지(정기간행물)] - A. E. Ercilbengoa / 2000 / J. Phys. D: Appl / Phys 33

2. [학술지(정기간행물)] - E. E. Kunhart / 1988 / Phys / Rev 38

3. [학술지(정기간행물)] - R. Morrow / 1997 / J. of Phys. D: Appl / Phys 30

4. [학술지(정기간행물)] - A. A. Kilikovsky / 1997 / J. of Phys. D: Appl / Phys 30

5. [학술지(정기간행물)] - W. H. Koh / 2002 / J. Kor. Phys / Soc 41

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