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논문 기본 정보

자료유형
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제2호
발행연도
2008.3
수록면
81 - 89 (9page)

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분자동역학을 이용하여 이온빔 스퍼터링 과정에서 원자의 거동을 연구하였다. Ar이온이 Au와 Pd(001) 표면에 다양한 에너지와 입사각도로 충돌할 때, 표면원자들 중 일부는 공간으로 떨어져 나갔으며, 반응 후 일부 원자들은 초기 표면보다 위쪽에 재증착 되는 현상이 관찰되었다. 재증착 원자의 수율은 스퍼터된 원자보다 Au의 경우 약 5배, Pd의 경우 약 3배 많이 입사 에너지와 입사 각도에 상관없이 발생됨을 확인하였다. 연속된 입사계산을 통해, 스퍼터링 과정에 발생되는 다양한 표면 패턴 형성 메커니즘을 식각만으로 설명하고 있는 종래의 개념과는 달리, 이온빔으로 인해 끊임없이 발생되는 재증착 원자들이 표면의 구조를 형성하는데 중요한 역할을 하는 것으로 확인되었다.
#분자동역학 #이온빔 스퍼터링 #표면 구조 #molecular dynamics #ion beam sputtering #surface structure

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 계산과정
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (30)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - M. V. R. Murty / 2002 / Surf / Sci 500 (523) google schola 2. [기타자료] - S. Facsko / 1999 / Science 285 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - C. W. Chan / 2007 / J. Appl / Phys 101 (121301) google schola 4. [단행본] - M. J. Aziz / 2006 / Ion Beam Science: Solved and Unsolved Problems / Karada Publishing Services : 187 ~ 206 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - S. Vogel / 2006 / Europhys / Lett 76 (5) google schola

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