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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제4(2)호
발행연도
1999.12
수록면
514 - 518 (5page)

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열역학적 평형하에서 금(Au)은 사파이어(Sapphire: 단결정 Al₂O₃)와 반응을 하지 않으므로 서로 접합하지 않으나 사파이어표면을 7 keV Ar+ 이온으로 에칭한 후 금박막을 증착하였을 때 열처리 없이도 대단히 강한 접합 (>70 MPa)이 얻어졌다. 접합기구를 규명하기 위해 고 해상도 오제전자분광기(Auger Electron Spectroscopy:AES)로 금박막 위에서 Auger 전자의 탈출깊이(escape depth)와 박막두께를 이용하여 분석한 결과 강하게 접합된 금/사파이어 쌍의 입계에 Au-Al-O 화합물이 1~2 원자층 범위내에서 형성되어 있었다. 한편 Auger 분석결과 사파이어표면을 7 keV Ar+ 이온으로 조사하였을 때 사파이어 표면에 금속알루미늄이 일부 형성되어 있음이 발견되었다. 이 이온조사로 인한 환원은 선택적 에칭으로 인한 것으로 TRIM(TRansport of Ions into Matter) 계산 결과와도 일치하는 것이다. 따라서 금박막과 이온조사된 사파이어 사이의 강한 접합은 이온조사로 인한 사파이어표면의 불순물 제거 및 비화학양론적인 산화알루미늄의 형성 그리고 스퍼터링된 금입자가 사파이어 표면에 충돌할 때의 운동에너지가 구동력이 된 Au-Al-O 화합물의 형성으로 결론될 수 있다.

목차

요약

Abstract

1. 개요

2. 실험절차

3. 결과

4. 고찰

5. 결론

참고문헌

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