지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.11
- 수록면
- 474 - 478 (5page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
실리콘 표면에 이온화된 N₂ 가스를 입사한 후 어닐링을 통해서 SiN<SUB>x</SUB> 나노구조를 형성하였다. 원자힘 현미경으로 관찰한 결과 이 나노구조의 밀도는 3×10¹?/㎠ 였으며, 가로 크기는 40~60 ㎚ 이고 높이는 약 15 ㎚ 임을 알 수 있었다. 엑스선 광전자 분광기술을 이용하여 이 나노구조의 화학상태를 측정하였는데, 입사하는 이온화된 N₂의 단위시간당 양이 증가함에 따라서 화학상태가 SiNx에서 Si₃N₄ ＋ SiN<SUB>x</SUB> 형태로 변화함을 알 수 있었다. 열처리를 한 시료를 투과전자 현미경으로 측정된 결과는 SiN<SUB>x</SUB> 나노구조를 내부에 Si 나노 결정이 형성된 것을 보여주었다. 광여기 발광특성에서 관찰된 400 ㎚파장의 스펙트럼은 Si 나노결정의 크기를 고려할 때 나노결정과 SiN<SUB>x</SUB> 나노구조 사이의 계면상태에서 기인한 것으로 생각된다.
목차
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental Methods
Ⅲ. Results and Discussions
Ⅳ. Conclusions
Acknowledgement
References
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO<sub>2</sub>/Si
Carbon letters
2017 .01
-
The structure of the Si - SiO₂ interface formed by oxygen ion beam bombardment and high temperature annealing
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
-
Si / In / CeO₂ / Si박막의 Indium분포와 photoluminescence
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
-
XPS를 이용한 Co / Si(100)의 계면반응
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
-
급속열처리산화법으로 형성시킨 SiO₂ / 나노결정 Si의 전기적 특성 연구
Applied Science and Convergence Technology
2001 .04
-
Si / SiO₂ - nanostructure의 제작 및 C-V특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
-
Self-Organized Nanostructures on Polymers by means of Ion Beam Irradiations and Its Applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
이온빔 증착법에 의해 형성된 Si 나노결정의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
-
표면 열산화막을 이용한 Si 나노구조의 광특성 제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
Si Nanostructure on Graphene
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
-
실리콘산화막의 광루미니센스 온도의존성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2001 .07
-
이온빔 조사에 의한 고분자 필름상 코팅된 Si 박막의 나노구조화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
Interfacial reaction of the Co thin films on Si(100) studied by XPS
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
-
The formation of dense Si nanocrystals in Si/Si₃N₄ superlattices by the ultra high vacuum ion beam sputtering deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
-
Si(5 5 12)에 존재하는 안정된 Si(6 9 17) Facet의 구조
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
-
Applications of Ar Gas Cluster Ion Beam Sputtering to Ta₂O5 thin films on SiO₂/Si (100)
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
-
고에너지 이온주입된 씰리콘에서 이차결함 생성에 미치는 이온종류(Si, P, B)의 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
-
A first principles study on magnetism of Fe3Si on Si(001) and Si(111) substrates
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
-
Visible photoluminescence from nanocrystal - Si in SiNx thin films grown by ion beam sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
-
Sputtering of Solid Surfaces a Ion Bombardment
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001270729