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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제2호
발행연도
2006.3
수록면
173 - 179 (7page)

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Pulsed laser deposition 방법으로 증착한 PbZr<SUB>0.3</SUB>Ti<SUB>0.7</SUB>O₃ (PZT)박막의 구조적, 전기적 성질에 대한 연구를 하였다. PZT 박막은 LaAlO₃ 기판위에 동일한 조건으로 증착된 LaMnO₃ (LMO) 산화물을 하부 전극으로 하여 증착시간을 변화시키며 증착하였다. High-resolution x-ray diffraction 결과를 통해 LMO 하부 전극과 PZT 박막이 방향성 있게 자란 것을 확인할 수 있었고 박막의 두께는 field-emission scanning electron microscope을 통하여 측정할 수 있었다. 또한 우리는 atomic force microscopy을 이용하여 박막의 표면 거칠기를 구하였고 국소적인 범위의 전기적 특성은 piezoelectric force microscopy 모드를 이용하여 측정하였다. 그 결과 PZT/LMO 구조는 나노 스토리지의 미디어로 쓰이기 위해 필요한 성질들을 갖추었음을 알 수 있었다.
#PZT #LMO #Pulsed laser deposition #나노 스토리지 #Piezoelectric force microscopy #PLD #Thin film #Nano-storage #PFM

목차

국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
Abstract

참고문헌 (1)

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[학술지(정기간행물)] - / 1978 / Elements of X-RAY DIFFRACTION : 350 ~ 368 google schola

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