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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제11회 학술발표회논문개요집
발행연도
1996.6
수록면
175 - 176 (2page)

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Pt/Ti/SiO₂/Si 기판상에 고주파 마그네트론 스퍼터링 방식으로 PZT 박막[두께:3000Å]을 증착하고 RTA 방식으로 후속 열처리[열처리온도: 550~650℃]들 실시하여 직경 0.2㎜ 소자의 FECAPs(ferroelectric capacitors)를 제작하였다. 증착된 PZT 박막을 ... 전체 초록 보기

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