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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제14권 제3호
발행연도
2005.9
수록면
147 - 152 (6page)

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실시간 x-선 산란기법을 이용해 p형 질화물 위에 성장된 Ni(400 Å)/Au(400 Å) 박막의 공기 중에서 산화과정동안 일어나는 구조적인 변화를 조사하였다. 350 ℃의 열처리 온도에서 산화과정 동안 니켈과 금 박막들이 서로 섞인다는 것을 확인하였고 금의 회절 프로파일의 우측 부근에서 니켈의 양이 서로 다른 금 고용체의 새로운 상이 형성되는 것을 발견하였다. 또한, 이런 금 고용체에 포함된 니켈 원자는 산화가 더욱 진행함으로써 바깥쪽으로 확산하여 산소와 결합하여 NiO의 새로운 상이 형성되는 것을 알 수 있었다. 650 ℃의 열처리 온도에서는 완전히 산화가 일어났음에도 불구하고 금(111) 벌크 회절 프로파일에 소량의 니켈 원자가 포함되어 있음을 확인하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

5. 감사의 글

참고문헌

참고문헌 (1)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - B. E. Warren / 1969 / X-ray diffraction : 13 ~ google schola

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