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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제13권 제4호
발행연도
2004.12
수록면
182 - 188 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2005

갈륨액체금속 이온원과 인듐액체금속 이온원의 빔 특성에 대한 연구
현정우 ,  임연찬 ,  정강원 외 4명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.05 학술대회자료

2004

액체 금속 이온원의 빔 안정도 향상
현정우 ,  임연찬 ,  김성수 외 6명 Applied Science and Convergence Technology 2004.12 학술저널
액체금속이온원의 빔안정도 향상
현정우 ,  임연찬 ,  김성수 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.08 학술대회자료
액체 금속 이온원의 빔 안정도 향상
현정우 ,  임연찬 ,  김성수 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2004.04 학술대회자료
빔의 안정성이 향상된 갈륨을 이용한 액체금속이온원의 제작
현정우 ,  오현주 ,  임연찬 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

초록· 키워드

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이전의 연구에서의 소스 형태는 전기화학적 방법으로 에칭된 텅스텐 선에 코일형태의 히터를 부착한 것으로 액체금속을 직접 가열하는 방법이었다. 이전의 모델에서는 액체금속을 가열하는 과정에서 코일형태의 히터에 대한 과다한 전력소모가 발생함으로써 본 연구에서는 코일형태의 히터를 대체할 수 있는 새로운 방법을 제시하고 그의 특성을 연구하였다. Pre-etching된 250㎛ 의 텅스텐 선을 7 ㎜ 단위로 절단, 이를 갈륨저장소로 만든 형태이다. 가열방식은 직접방식으로 갈륨을 저장소에 적재(loading)하는 과정과 빔의 안정도가 이전의 방법보다 더욱 향상되었음을 본 연구의 결과를 통해 볼 수 있다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과

4. 결론

감사의 글

참고문헌

참고문헌 (1)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - / 2003 / High resolution focused Ion Beams : FIB and its Applications : 41 ~ 44 google schola

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