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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제7권 제3호
발행연도
1998.8
수록면
273 - 276 (4page)

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안테나에 따른 플라즈마 밀도의 균일도 연구를 위해 병렬 안테나를 설계하고 이중 랑뮤어 탐침과 자기장 측정 탐침을 이용하여 각각의 플라즈마 밀도와 자기장의 세기를 측정하였다 . 나비형 안테나를 사용했을 때 플라즈마 밀도가 ~2×10¹¹ (㎝-³)로 다른 두 안테나를 사용했을 때보다 높았으며, 전자의 온도는 2 eV 이하로 동일한 조건에서의 나선형 안테나보다 낮게 나왔다. 또 전류의 방향이 서로 다른 두개의 안테나선이 가까이 있거나 안테나 성분끼리 양성 결합(positive coupling)을 하는 경우에는 동력 효율(power efficiency)이 매우 낮아졌다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 실험결과 및 분석

4. 결론

참고문헌

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