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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제13권 제1호
발행연도
2004.3
수록면
22 - 28 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2005

글로우방전 질량분석법을 이용한 구리 박막내의 미량불순물 분석 : 음의 기판 바이어스에 의한 불순물원소의 농도변화
임재원 ,  미노루 이츠키 Applied Science and Convergence Technology 2005.03 학술저널

2004

SIMS와 GDMS를 이용한 구리와 탄탈 박막내의 주요불순물 분석
임재원 ,  미노루 이츠키 Applied Science and Convergence Technology 2004.06 학술저널
이차이온 질량분석기를 이용한 탄탈 박막내의 불순물 분석
임재원 ,  배준우 ,  Mino 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2004.03 학술저널
글로우방전 질량분석법을 이용한 구리 박막내의 미량불순물 분석
임재원 ,  배준우 ,  Kouji Mimu 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문은 탄탈 박막의 증착시 음의 기판 바이어스에 의한 탄탈 박막내의 불순물 농도변화에 대해서 고찰하였다. 탄탈 박막은 실리콘 기판 위에 이온빔 증착장비를 이용하여 기판 바이어스를 걸지 않은 경우와 -125 V의 기판 바이어스를 건 상태에서 증착하였다. 탄탈 박막내의 불순물 농도를 관찰하기 위해서 이차이온 질량분석기 (secondary ion mass spectrometry)를 이용하였다. 세슘 클러스터 이온에 의한 깊이분석에서, -125 V의 기판 바이어스를 걸어줌으로써 산소, 탄소, 그리고 실리콘 불순물의 농도가 기판 바이어스를 걸지 않은 경우에 비해 상당히 감소한 것을 알 수 있었다. 또한, 세슘 이온빔과 산소 이온빔을 이용한 전체 불순물의 농도분포에서도, 음의 기판 바이어스가 박막 증착시 각각의 불순물 농도에 영향을 준다는 결과를 얻었고 이에 대한 고찰을 하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

참고문헌 (1)

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[학술지(정기간행물)] - / / Handbook of Chemistry and Physics : 10 ~ 207 google schola

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