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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제1권 제3호
발행연도
1992.10
수록면
332 - 335 (4page)

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초고진공 시스템에 있어서 시스템을 대기압으로 바람을 넣은 후 정상상태로의 신속한 원상회복을 위하여 건조질소 통풍(venting) 장치를 고안 제작하였다. 이 장치는 액체 질소 저장통, 증발기 및 여과기로 구성되어 있다. 이 장치에 의한 통풍효과와 다른 방법에 의한 통풍효과를 가스 방출률 측정을 통하여 정성적으로 비교 분석하였을 때, 본 장치가 가장 낮은 가스 방출률과 가장 빠른 진공회복을 보여주었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 건조질소 통풍장치

3. 결과 및 토의

4. 결론

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