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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2002.6
- 수록면
- 108 - 112 (5page)
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AC 플라즈마 디스플레이 패널의 보호막으로 널리 사용되고 있는 MgO막의 2차 전자 방출계수를 저에너지 불활성 기체이온에 대해 펄스 이온빔 기법으로 측정하였다. 실리콘 산화막의 헬륨이온에 의한 2차 전자 방출계수는 300 eV에서 0.82를 보였지만 50 eV에서는 0.22보여 운동에너지에 대한 상당한 의존성을 보였다. 한편, MgO막의 이차전자 방출계수는 이온에 의한 스퍼터링이 지속됨에 따라 0.62에서 0.3으로 감소함으로써 이온충돌이 MgO의 이차전자 방출계수에 상당한 영향을 미치는 것을 확인할 수 있었다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법 및 이론적 배경
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
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