새로운 반응장치를 이용한 기능성 플라즈마 중합막의 제작

김종택 ,  이상희 ,  박종관 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1998 .02

Control of spatial distribution of plasma density by the variable capacitor in a capacitively coupled plasma

Ho-Jun Moon ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

전극 구조에 따른 대기압 플라즈마 방전 특성 연구

E. S. Choe ,  D. J. Seong ,  J. H. Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

유기박막트랜지스터 응용을 위해 플라즈마 중합된 Styrene 게이트 절연박막

황명환 ,  손영도 ,  우인성 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2011 .09

플라즈마 디스플레이 에서의 가스방전 특성

박헌건 ,  이석현 ,  정재상 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

플라즈마 중합막의 기판재질 의존성과 전자선 조사 특성에 대한 연구

김종택 ,  박수홍 ,  김형권 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1998 .11

Power Dissipation in a RF Capacitively Coupled Plasma

T. H. T ,  an ,  S. J. You 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F₈/ O₂ 가스의 특성 해석

김환호 ,  이정열 ,  박희성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Development of an Improved Numerical Methodology for Design and Modification of Large Area Plasma Processing Chamber

김호준 ,  이승무 ,  원제형

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

플라즈마 중합된 Styrene 박막을 터널링층으로 활용한 부동게이트형 유기메모리 소자

김희성 ,  이붕주 ,  이선우 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2013 .05

Surface Characterization of the Activated Carbon Fibers After Plasma Polymerization of Allylamine

Lu ,  Na ,  Tang 외 5명

Carbon science

2005 .01

The effect of gas flow on the substrate temperature distribution in an inductively coupled plasma

Yeong-Min Lim ,  Min-Seok Kim ,  Hyundong Eo 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

연면방전의 플라즈마 화학처리에 의한 유해가스제어 성능에 관한 연구 ( The Study of a Control Performance for Hazardous Gases by Surface Discharge Induced Plasma Chemical Process )

이주상 ,  김광영 ,  배성태 외 1명

한국대기환경학회 학술대회논문집

1994 .01

연면방전의 플라즈마 화학처리에 의한 유해가스제어 성능에 관한 연구 ( A Study on the Control Performance for Hazardous Gases by Surface Discharge Induced Plasma Chemical Process )

이주상 ,  김신도 ,  김광영 외 1명

한국대기환경학회지(국문)

1995 .06

Investigation of Surface Morphology for Nylon 4,6 Thin Film by Molecular Layer Deposition

권덕현 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

대면적 Capacitively Coupled Plasma에서 Multi power feeding에 따른 Plasma uniformity 변화

유광호 ,  나병근 ,  유대호 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

FTS 방법으로 제작된 박막의 가스압력 의존성

손인환 ,  최성민 ,  공석현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

상압에서 capacitively couple plasma type의 capillary electrode discharge를 이용한 glow discharge plasma의 특성연구

이창헌 ,  이용혁 ,  김동우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Inter- and Intra- Molecular Interaction in Organic-Inorganic Alucone Polymeric Films using Molecular Layer Deposition

이혜미 ,  이진석

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02