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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제3(2)호
발행연도
1999.8
수록면
361 - 367 (7page)

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플라즈마 이온주입에서 유한한 고유 오름 시간을 갖는 음전압이 펄스 형태로 평면 타겟에 인가될 때 타겟 주위로 형성되는 시 변환 플라즈마 덮개(time dependent sheath)를 관찰하였다. 이때 형성되는 시 변환 플라즈마 덮개는 서로 다른 특성을 갖는 두 개의 영역으로 구성되어 있음이 관찰되었다. 펄스 오름 시간동안에 형성되는 플라즈마 덮개는 플라즈마 밀도의 역수와 펄스 오름 비율의 루트에 비례하고 펄스 시간의 루트에는 비례하며 이온 질량에 관계없이 진행하는 이온 매트릭스 덮개의 전개가 관찰되었으며 펄스 오름 시간 이후에는 이용의 음속도에 비례하는 동적 플라즈마 덮개의 전개가 관찰되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 장치 및 방법

3. 펄스 오름 시간동안 전개되는 이온 매트릭스 덮개 모델

4. 결과 및 토의

5. 결론

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