Study on effect of pre-existing plasma on the characteristics of local sheath plasma

Yeong-Shin Pa ,  k ,  Kyung-Jae Chung 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Plasma and pulsed power application to agriculture

Koichi TAKAKI

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Modelling on Sheath Expansion of Two-dimensional Grid Electrodes

Changho Yi ,  Won Namkung ,  Moohyun Cho

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Wide Parameter Range Pulsed Power Plasma Processing

J. Engemann

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Dynamics of plasma ion-sheath interface

Seung-Yeal Ha

한국산업응용수학회 학술대회 논문집

2004 .12

Plasma Source Ion Implantation using High Power Pulsed RF Plasma

Seunghee Han ,  Yeonhee Lee ,  Youngwoo Kim 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

레이저를 이용한 N₂ 플라즈마 쉬스 분석

정진수 ,  김병환

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

High-Voltage Solid-State Pulsed Modulator for Plasma Applications

안석호 ,  조현빈 ,  손윤규

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

N₂ plasma와 Ar plasma의 방출세기에 미치는 Pulsed DC 변수의 영향

김종익 ,  조용기 ,  한전건

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Heterojunction diodes with atomically sharp interface from structures with n-MoS₂ layer on p⁺-Si substrates

Da Ye Song ,  Dongil Chu ,  Sang Woo Pak 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Effects of high voltage nanosecond pulsed plasma and micro DBD plasma on seed germination, growth development and physiological activities in spinach

Sang Hye JI ,  Ki-Hong CHOI ,  Anchalee PENGKIT 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Si Fin etching using Cl₂/Ar Sync, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas

김희주 ,  김교운 ,  홍종우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Focus ring 의 수명향상에 관한 연구

양경채 ,  이호석 ,  박성우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

압력 변화에 따른 플라즈마 쉬스(Sheath)의 특성 연구

홍보한 ,  이강일 ,  김곤호

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Effects of the Sheath on Determination of the Plasma Density of Microwave Probe

Dae-Woong Kim ,  Shin-Jae You ,  Byung-Keun Na 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Pulsed Plasma 분위기에서 Boriding된 탄소강의 기계적 성질

명성환 ,  이규열 ,  한세진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Thermal Analysis for 1.3 ㎛ High Power Laser Diodes

Jung Hwa Jung ,  Sang Yeol Lee ,  I. K. Han

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation

유동훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08