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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제2호
발행연도
1999.5
수록면
121 - 126 (6page)

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자가 이온 보조 빔 (Self-Ion Assisted Beam; SIAB)를 이용해 Cu 박막을 증착한 후 박막의 특성을 조사하였다. 소스의 특성과 실험 절차를 총 전력, 이온화율, 증착 속도에 따른 이온 전류로 나타내었다. SIAB 방법으로 증착한 Cu 박막의 가속 전압의 변화에 따른 결정 구조, 불순물 농도와 비저항의 영향에 대해서 조사하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 소스 특성

3. SIAB으로 증착되 Cu 박막의 구조와 특성

4. 결론

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