지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2001.10
- 수록면
- 289 - 297 (9page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
가연성 가스의 검지 및 인식을 위하여, SnO₂계열의 4가지 종류의 박막을 형성하였다. 감지막 형성을 위하여, Sn,Pt/Sn, Au/Sn, 그리고 Pt,Au/Sn 막을 Sn의 열증착과 귀금속의 스퍼터링으로 증착하였다. 증착된 박막들을 700℃ 정도에서 2 시간 열산화시켜 SnO₂ 계열의 감지막을 형성하였다. 제작된 박막은 tetragonal 구조의 SnO₂이었고, 가스 흡착을 위한 가스 흡착점과 기공도를 많이 갖고 있었다. 스퍼터로 형성된 박막보다 열산화법으로 형성된 박막이 고감도를 보였다. 제작 박막들은 작업환경기준치정도의 저농도에서 측정 가연성 가스(부탄, 프로판, LPG, 일산화탄소)에 대해 고감도와 재현성을 나타내었다. 특히, 백금(30 Å)을 첨가한 박막이 LPG와 부탄 가스에 대해, 순수 열산화된 SnO₂ 박막이 프로판과 일산화탄소에 대하여 가장 고감도를 나타내었다. 이들 센서들의 각 가스별로 차별화된 감도패턴을 이용하여 주성분 분석 기법을 통해 환경기준치(LEL, TLV) 범위에서 부탄, 프로판, LPG, 일산화탄소와 같은 가연성 가스의 종류 인식 및 정량을 인식할 수 있었다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 센서제조 및 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
산소 이온 빔에 의해 제조된 SnO₂-x 박막 센서의 가연성 가스(CH₄, C₃H8, H₂)의 감응성 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
-
Hybrid Ion Beam Deposition에 의해 제조된 SnO₂-x 박막에 Dopant Pd에 의한 가연성 가스의 감응성 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
-
유해 가스 검출을 위한 SnO₂ 촉매 가스 센서 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
Synthesis of Flower-like SnO₂ using Hydrothermal Synthesis for High Sensitivity Gas Sensor
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
The properties of thin films p-type SnO/n-type SnO2 for fabrication of p-n junction
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
-
벙지기술(가스)
한국대기환경학회 학술대회논문집
2002 .04
-
Microelectromechnical system 소자를 위한 박막형 2차 전지용 SnO₂ 음극 박막의 충방전 특성 평가
Applied Science and Convergence Technology
2000 .02
-
Structural and electronic properties of SnO and SnO2 by first principle calculations
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
-
플라즈마 원자층 증착기술을 이용한 반응가스에 따른 SnO2 박막 성장 및 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
3E3)SnO₂-WO₃ 반도체 가스센서의 감응 특성 연구
한국대기환경학회 학술대회논문집
2003 .10
-
3E4)CH₃CN 검지용 SnO₂ 박막형 센서의 제작
한국대기환경학회 학술대회논문집
2003 .10
-
증착 환경에 따른 SnO박막 채널 소자의 TFT 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
-
Sn과 SnO 박막을 이용한 SnxSy 박막 합성
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
Hybrid Ion Beam Deposition에 의해 제조된 SnO₂-x 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
-
Coexistence of SnO and SnO₂ NWs synthesized By thermal-CVD under hydrogen reduction condition
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
Detection of Blood Agent Gas Using SnO₂ Thin Film Gas Sensor
한국대기환경학회지(영문)
2004 .06
-
LP-Thermal MOCVD 방법을 이용한 $SnO_2$ 박막의 증착 시간에 따른 특성
조선자연과학논문집
2008 .01
-
전기 화학적 방법으로 성장한 SnO₂ 나노구조의 광학적 및 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
-
NH3 Sensing Properties of SnO Thin Film Deposited by RF Magnetron Sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
-
진공에서 수소가스 탐지를 위한 ZnO 가스센서
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001262205