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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제10권 제3호
발행연도
2001.10
수록면
283 - 288 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2001

운동에너지를 가지는 알루미늄 덩어리 충돌 및 증착에 관한 분자동력학 연구
강정원 ,  황호정 Applied Science and Convergence Technology 2001.10 학술저널

2000

알루미늄 덩어리 충돌에 관한 분자동력학 연구
강정원 ,  최기석 ,  황호정 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.07 학술대회자료
큰 알루미늄 덩어리 증착(large aluminum cluster deposition)에 관한 분자동력학 시뮬레이션
강정원 ,  최기석 ,  문원하 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.02 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 분자동력학 방법을 사용하여 알루미늄 덩어리 충돌에 관하여 연구하였다. 충돌에 따른 운동량 및 충격력 변화를 통하여, 덩어리 충돌은 단일입자충돌(single particle collision) 특성 일부와 선형사슬충돌(linear chain collisions) 특성 일부를 가지는 것을 살펴보았다. 또한 연속적인 덩어리 증착을 통하여 성장된 박막의 특성을 살펴보았다. 원자당 에너지가 너무 낮은 경우보다는 일정 에너지 이상에서 혼합(intermixing) 발생이 잘 이루어지며 짧은 어닐링 공정으로 좋은 박막을 얻을 수 있다는 것을 살펴보았다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 연구방법

3. 연구 결과 및 분석

4. 요약 및 결론

참고문헌

참고문헌 (0)

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