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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제3권 제3호
발행연도
1994.9
수록면
316 - 321 (6page)

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Rate of mixing of Cu particles to polyimide substrate at interfaces under different thermal treatments was analyzed by Rutherford Backscattering Spectroscopy using 2.0 MeV He+ ions. The mixing rate was a function of annealing temperature and time, and was constant at a fixed temperature. The amount of mixing increased linearly with time and the mixing rate increased with temperature. The activation energy for interface mixing between Cu and polyimide was 2.6 kcal/mol. The X-ray studies showed the Cu(111) plane peak changed with annealing time at fixed temperature. The mixing of Cu to polyimide was explained with segmental motion of PI chain and with interaction between functional group of the chain and metal electron donor. The comparisons were made between the mixing induced by ion irradiation and by thermal treatment. The various factors affecting the interface mixing are discussed.

목차

Abstract

1. Introduction

2. Experimental

3. Results and Discussions

References

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001261622